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行業(yè)產(chǎn)品

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深圳市圭華智能科技有限公司


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TGV玻璃晶圓打孔機(jī)

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品       牌

廠商性質(zhì)其他

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更新時(shí)間：2024-07-15 09:17:56瀏覽次數(shù)：210次

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經(jīng)營(yíng)模式：其他

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所在地區(qū)：

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

設(shè)備特點(diǎn)●最小2um直徑超微孔加工●行業(yè)內(nèi)的深徑比1:150●5000孔/秒的超快加工速度●可加工通孔、盲孔、異型孔、單孔、集群陣列孔●微孔真元度高

詳細(xì)介紹

設(shè)備特點(diǎn)
●  最小2um直徑超微孔加工

●  行業(yè)內(nèi)的深徑比1:150

●  5000孔/秒的超快加工速度

●  可加工通孔、盲孔、異型孔、單孔、集群陣列孔

●  微孔真元度高，的垂直度

●  孔側(cè)壁光潔度可做到100nm

●  適應(yīng)鈣鈉玻璃，鋁硅玻璃，石英，寶石等透明材質(zhì)



應(yīng)用領(lǐng)域


樣品展示


設(shè)備參數(shù)

項(xiàng)目

技術(shù)參數(shù)

設(shè)備型號(hào)

G6000

平臺(tái)精度

重復(fù)精度±0.4um，定位精度±1um@20℃±1℃

平臺(tái)運(yùn)行速度

運(yùn)行速度1000mm/s，速度2000mm/s

平臺(tái)運(yùn)行加速度

運(yùn)行加速度2G，加速度4G

打孔效率

常規(guī)5000孔/秒，10000孔/秒

孔徑尺寸

2-200um±100nm

內(nèi)壁光潔度

100nm

孔錐度

90±20°，錐度精度±0.2° 

平臺(tái)切割范圍

300*300mm

加工玻璃厚度

100um-3mm

徑深比

常規(guī)1：501：150

適應(yīng)產(chǎn)品

玻璃晶圓，微流控芯片，MEMS，5G射頻，傳感器

適應(yīng)材質(zhì)

藍(lán)寶石≦0.5mm、玻璃、石英≦1.2mm



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