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品       牌

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

設(shè)備特點(diǎn)●DOE整形光路實(shí)現(xiàn)線寬60-100um硬件可調(diào)●摻雜后表面外觀幾乎無損傷●摻雜區(qū)高濃度、深結(jié)、低方阻●25.2以上的光電轉(zhuǎn)換效率●兼容市場(chǎng)上絕大多數(shù)主流硅片●雙通道加工

詳細(xì)介紹

設(shè)備特點(diǎn)
●  DOE整形光路實(shí)現(xiàn)線寬60-100um硬件可調(diào)

●  摻雜后表面外觀幾乎無損傷

●  摻雜區(qū)高濃度、深結(jié)、低方阻

●  25.2以上的光電轉(zhuǎn)換效率

●  兼容市場(chǎng)上絕大多數(shù)主流硅片

●  雙通道加工，效率高

●  實(shí)現(xiàn)硅片防護(hù)，破碎率控制在0.02%以內(nèi)

●  自帶破品檢測(cè)及隱裂檢測(cè)功能，杜絕不良品向下游流轉(zhuǎn)



應(yīng)用領(lǐng)域


樣品展示


設(shè)備參數(shù)

項(xiàng)目

技術(shù)參數(shù)

設(shè)備型號(hào)

G7000

激光器

>100W

振鏡掃描速度

50m/s

適用硅片尺寸（mm）

182-230

適用硅片厚度（um） 

100-180

圖形精度（um）

±15um

對(duì)準(zhǔn)精度（um）

±15um

花籃容量（pcs）

200

產(chǎn)能（UPH）

>8500

線寬

設(shè)置值90um±5μm，80-100um硬件可調(diào)



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