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四川菲克科技有限公司


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FMSZ-S系列-伺服電機(jī)升降臺

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產(chǎn)品簡介

光柵尺閉環(huán)，大承載，高精度

詳細(xì)介紹

電動位移臺選購指南 Feinixs系列產(chǎn)品命名規(guī)則 位移控制基本概念
FMSZ-S系列-伺服電機(jī)升降臺
(1) 光柵尺閉環(huán)，大承載，高精度
詳細(xì)規(guī)格參數(shù)
圖片
產(chǎn)品分類 伺服升降臺 伺服升降臺 伺服升降臺
產(chǎn)品型號 FMSZ170S-100 FMSZ170S-200 FMSZ170S-300
外形尺寸 529x170x85.5 629x170x85.5 729x170x85.5
臺面尺寸（mm) 170x170 170x170 170x170
電機(jī) 伺服電機(jī) 伺服電機(jī) 伺服電機(jī)
行程（mm) 100 200 300
速度（mm/s) 100 100 100
負(fù)載(Kg） 20 20 20
分辨率（um) 0.5 0.5 0.5
最小位移量(um) 1 1 1
單向重復(fù)定位精度(um) ±1 ±1.5 ±2
雙向重復(fù)定位精度(um) ±2 ±3 ±4
定位精度(um) ±10 ±12 ±15
直線度(um) 15 15 15
平行度(um) 15 15 15
偏擺(") 30 30 30
俯仰（“） 30 30 30


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