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日本尼康Nikon二手翻新定制曝光機分步投影光刻機NSR-S204B

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產(chǎn)品簡介

Nikon分步投影光刻機NSR-S204B,用于集成電路生產(chǎn)過程中的微光刻工藝,通過投影成像方式,把掩模版上集成電路圖形以高分辨率、高精度、高效率的方式分步重復(fù)曝光在涂有膠層的硅片表面

詳細(xì)介紹

Nikon分步投影光刻機NSR-S204B,用于集成電路生產(chǎn)過程中的微光刻工藝,通過投影成像方式,把掩模版上集成電路圖形以高分辨率、高精度、高效率的方式分步重復(fù)曝光在涂有膠層的硅片表面。

Nikon分步投影光刻機NSR-S204B含有硅片自動傳輸系統(tǒng)、版庫自動管理系統(tǒng)、可編程掩模光欄、自動調(diào)焦調(diào)平、硅片自動對準(zhǔn)、掩模板自動對準(zhǔn)、鏡頭倍率及焦點自動控制、曝光能量的自動補整、腔體溫度環(huán)境控制、故障顯示報警等*功能。

NSR-S204B型分步投影光刻機基本工作過程:把曝光掩模和硅片分別裝入掩模庫和硅片承載臺以后;通過操作設(shè)備的控制系統(tǒng),使設(shè)備按照所需設(shè)定的制作程序自動完成掩模、硅片的傳遞交換,并根據(jù)生產(chǎn)工藝需要進(jìn)行自動對準(zhǔn)、自動調(diào)焦調(diào)平、自動掃描曝光等工作過程。


運輸與保管

Nikon分步投影光刻機NSR-S204各部分重量:主機重量(凈重)7200Kg,溫調(diào)柜重量860Kg,傳送腔體重量850Kg,空調(diào)機重量650Kg,控制柜重量300Kg,BMU重量180Kg,變壓器重量160Kg

運輸Nikon分步投影光刻機NSR-S204方式:采用半導(dǎo)體專用設(shè)備減震車運輸。

Nikon分步投影光刻機NSR-S204對環(huán)境要求:溫度控制在19~24℃之間,濕度小于70%。

用戶在收到Nikon分步投影光刻機NSR-S204及其附件后,應(yīng)即刻運送存放在滿足溫度、濕度要求的廠房內(nèi),切勿露天或在溫濕度不受控的環(huán)境存放。

在運輸Nikon分步投影光刻機NSR-S204過程中,應(yīng)避免沖擊和震動,輕搬輕放。嚴(yán)格要求具有防振、減震措施,搬運過程中振動不大于1G。Nikon二手光刻機主機配置

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