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行業(yè)產(chǎn)品

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杭州華盼科技有限公司


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薄膜熱應(yīng)力測試系統(tǒng)

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參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號TST-1200

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地杭州市

包裝印刷網(wǎng)采購部電話：0571-88918531QQ:2568841715

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更新時(shí)間：2023-08-23 10:29:29瀏覽次數(shù)：233次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：419條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：錢經(jīng)理

產(chǎn)品簡介

簡要描述：獲得的MOS多光束技術(shù)（二維激光陣列）

詳細(xì)介紹

特點(diǎn):

1.獲得的MOS多光束技術(shù)（二維激光陣列）

2.采用真空和低壓氣體保護(hù)，可進(jìn)行溫度范圍-100~1200°C（多種溫度范圍可選）的變溫測量

3.樣品快速熱處理和冷處理功能

4.溫度閉環(huán)控制保證的溫度均勻性和精度

5.實(shí)時(shí)的應(yīng)力、曲率VS溫度曲線

6.程序化控制掃描模式：選定區(qū)域、多點(diǎn)線性掃描、全面積掃描

7.成像功能：樣品表面2D曲率成像，定量薄膜應(yīng)力成像分析

8.測量功能：曲率、曲率半徑、薄膜應(yīng)力、薄膜應(yīng)力分布和翹曲等

9.氣體（氮?dú)狻鍤夂脱鯕獾龋?span lang="EN-US">Delivery系統(tǒng)

10.可采用泵入液氮冷卻,較大冷卻速率100°C/min

應(yīng)用:

TST用于科研或者生產(chǎn)企業(yè)中薄膜原位應(yīng)力監(jiān)測和控制。

TST應(yīng)用于金屬薄膜，介電薄膜、濾光片膜、平板玻璃、300mm半導(dǎo)體集成電路板、薄膜電池、MBE和MOCVD薄膜制備和退火過程的熱應(yīng)力監(jiān)控等領(lǐng)域。

技術(shù)參數(shù):

型號

TST-1200

溫度范圍

-100~1200°C(多種溫度范圍可選)

溫度速率

加熱 >10°C/秒

冷卻 600°C，較高50°C/分鐘；400°C到室溫，較高5°C/分鐘（可擴(kuò)展更快的升溫和降溫速率）

溫度均勻性

± 2 °C

溫度穩(wěn)定性

± 1 %

平均傾斜重復(fù)性

< 1μrad

平均曲率重復(fù)性

< 2×10-5 1/m

應(yīng)力測量范圍

幾十KPa ~ 幾十GPa

空間掃描分辨率（用戶可調(diào)）

高達(dá)1μm

曲率分辨率

室溫100Km，高溫20Km

實(shí)時(shí)熱應(yīng)力測量分析

30點(diǎn)/秒

真空腔室真空度

10 mTorr

測量基片尺寸

標(biāo)配200mm（100mm和300mm可選）

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