主要特點(diǎn)：

高亮度場(chǎng)發(fā)射電子槍冷
冷場(chǎng)發(fā)射電子槍先天具有的高亮度和高能量分辨率的特點(diǎn)，使納米量級(jí)分析研究成為可能，對(duì)超高分辨圖像和電子全息攝影具有極大貢獻(xiàn)。

300kV高壓系統(tǒng)

300kV高壓系統(tǒng)具有更高的穿透能力，保證了厚樣品的原子分辨率圖像，降低了樣品制備難度，尤其對(duì)于金屬、陶瓷等高原子序數(shù)樣品的觀測(cè)十分有利。

的分析能力
新引入了雙重雙棱鏡全息攝影功能、高空間分辨率電子能量損失譜（EELS）和高精度平行納米束衍射技術(shù)等的分析技術(shù)。

可與FIB聯(lián)用樣品桿
日立公司專有的樣品桿可適應(yīng)FIB、TEM和STEM的使用。

簡(jiǎn)便易用的控制系統(tǒng)
基于Windows開(kāi)發(fā)的電腦控制系統(tǒng)、馬達(dá)驅(qū)動(dòng)可動(dòng)光闌和5軸馬達(dá)樣品臺(tái)使得儀器簡(jiǎn)單易用，10分鐘的升壓時(shí)間和1分鐘的換樣時(shí)間保證了儀器高效率的運(yùn)轉(zhuǎn)。