氣態(tài)氯硅烷組分分析是采用填充柱進(jìn)行高效分析的色譜方法。為了充分利用填充柱的高效分離特性，需采用與之配套的進(jìn)樣和檢測系統(tǒng)。普瑞GC-9280型氣相色譜儀采用六通閥進(jìn)樣，并裝有液體進(jìn)樣氣化室，兼分析液態(tài)氯硅烷。