印前設(shè)備 印刷機(jī)械 印后設(shè)備 裝訂設(shè)備 廣告設(shè)備 辦公設(shè)備 印刷機(jī)械配件 其它印刷相關(guān)器材 其它印刷設(shè)備
江蘇京創(chuàng)先進(jìn)電子科技有限公司
會(huì)員1.png)
江蘇京創(chuàng)先進(jìn)電子科技有限公司
閱讀：38發(fā)布時(shí)間：2024-7-2
近日，京創(chuàng)基于TAIKO晶圓減薄工藝推出的晶圓環(huán)切設(shè)備——AR9000RR，已經(jīng)成功進(jìn)入小批量生產(chǎn)階段。
TAIKO工藝和以往的背面研削不同，在對(duì)晶圓進(jìn)行研削時(shí)，只對(duì)晶圓內(nèi)進(jìn)行研削，保留晶片外圍的邊緣部分(約3mm)；晶圓利用該部分進(jìn)行支撐，以實(shí)現(xiàn)降低薄型晶片的搬運(yùn)風(fēng)險(xiǎn)和減少晶圓翹曲的目的。京創(chuàng)AR9000RR環(huán)切設(shè)備，可實(shí)現(xiàn)晶圓外圍TAIKO環(huán)全自動(dòng)去除。
工藝參數(shù)
料盒 (Wafer In) → 切割 → 清洗甩干→ UV照射 → 取環(huán) → 丟環(huán) → 料盒(Wafer Out)
京創(chuàng)AR9000RR晶圓環(huán)切設(shè)備是一種全新的系統(tǒng)，該設(shè)備可以將TAIKO工藝下的晶圓通過環(huán)切、清洗、解膠、取環(huán)等步驟，全自動(dòng)去除晶圓外環(huán)，可實(shí)現(xiàn)12片/小時(shí)以上的高效率生產(chǎn)和穩(wěn)定的取環(huán)。
定位精度：±0.1mm；
環(huán)形切割精度：±0.05mm；
加工物尺寸：12英寸晶圓；
功能配置
?取環(huán)掉環(huán)檢測(cè)；
?非接觸式測(cè)高(NCS)；
?刀片防錯(cuò)功能；
?刀片破損檢測(cè)(BBD)(0.5*0.5mm)；
?切割過程中自動(dòng)磨刀(Auto Dress stage)；
?智能UV解膠系統(tǒng)(按照能量自動(dòng)計(jì)算UV解膠時(shí)間)；
?條形二維碼識(shí)別(BARCODE READER)。
相關(guān)技術(shù)
?多軸聯(lián)動(dòng)高精度環(huán)切技術(shù)
X軸/Y軸/T軸三軸聯(lián)動(dòng)進(jìn)行晶圓邊緣切割；環(huán)形切割精度：±0.05mm。
?自動(dòng)尋邊對(duì)準(zhǔn)技術(shù)
利用顯微鏡對(duì)晶圓邊緣進(jìn)行自動(dòng)尋邊精準(zhǔn)定位，同時(shí)輸出邊緣坐標(biāo)。
?UV精準(zhǔn)定位解膠智能控制系統(tǒng)
配合微調(diào)機(jī)械手，精準(zhǔn)定位，準(zhǔn)確解膠環(huán)切外環(huán)；自動(dòng)判斷解膠時(shí)間。
?精準(zhǔn)去環(huán)、取環(huán)技術(shù)
精準(zhǔn)定位晶圓；取環(huán)臺(tái)和取環(huán)機(jī)械手合理配合設(shè)計(jì)；新型電機(jī)控制。
?高精度晶圓圓心定位技術(shù)
利用微調(diào)機(jī)械手，將晶圓中心調(diào)整至工作臺(tái)中心。定位精度：±0.1mm。
?晶圓精準(zhǔn)固定技術(shù)
吸片和邊緣真空配合特殊工作臺(tái)結(jié)構(gòu)，保證微調(diào)、切割時(shí)晶圓不會(huì)發(fā)生偏移。
?多工位、多機(jī)械臂、多電機(jī)協(xié)調(diào)加工
共4個(gè)工位、21個(gè)驅(qū)動(dòng)器實(shí)現(xiàn)多工位同時(shí)協(xié)調(diào)配合加工。
我國封裝生產(chǎn)線所用設(shè)備依賴進(jìn)口，從市場(chǎng)乃至技術(shù)控制在他人手中，嚴(yán)重地制約了我國封裝工藝的發(fā)展。
國產(chǎn)替代進(jìn)口半導(dǎo)體設(shè)備代表的是未來，作為專注于半導(dǎo)體材料精密切割領(lǐng)域的京創(chuàng)，作為致力于“開啟全自動(dòng)精密劃切設(shè)備新時(shí)代"的京創(chuàng)，十余年的風(fēng)雨兼程，十余年的拼搏創(chuàng)新，也許是時(shí)候讓世人認(rèn)識(shí)自己了。
半導(dǎo)體磨劃設(shè)備領(lǐng)域內(nèi)的“龍頭"將由中國創(chuàng)造！
包裝印刷網(wǎng) 設(shè)計(jì)制作，未經(jīng)允許翻錄必究 .? ? ?
請(qǐng)輸入賬號(hào)
請(qǐng)輸入密碼
請(qǐng)輸驗(yàn)證碼