手動橢圓偏振測厚儀

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產(chǎn)品型號EX1

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所在地杭州市

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更新時間：2023-08-23 14:58:20瀏覽次數(shù)：212次

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杭州華盼科技有限公司

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聯(lián)系人：錢經(jīng)理

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產(chǎn)品簡介

簡要描述：EX1 手動橢圓偏振測厚儀是基于消光法（或稱“零橢偏"）橢偏測量原理，針對納米薄膜厚度測量領域推出的一款手動教學儀器。

詳細介紹

EX1手動橢圓偏振測厚儀是基于消光法（或稱“零橢偏”）橢偏測量原理，針對納米薄膜厚度測量領域推出的一款手動教學儀器。

EX1 儀器適用于納米薄膜的厚度測量、以及納米薄膜的厚度和折射率測量。

EX1儀器還可用于測量塊狀材料（如，金屬、半導體、介質）的折射率n和消光系數(shù)k。

特點：

· 消光法橢偏測量原理

儀器采用消光法橢偏測量原理，易于操作者理解和掌握橢偏測量基本原理和過程。

· 方便的樣品水平放置方式

采用水平放置樣品，方便樣品取放。

· 精巧的一體化結構

集成一體化設計，精巧的儀器外形，方便地顯示儀器測量過程中的光強信息。

· 高準確性的激光光源

采用激光作為探測光波，測量波長準確度高。

· 實用的樣品測量功能

可測量納米薄膜的膜厚和折射率、塊狀材料的復折射率。

· 方便的儀器手動操作

手動完成測量，儀器軟件輔助進行測量數(shù)據(jù)的分析。

· 可擴展的儀器功能

利用本儀器，可通過適當擴展，完成多項偏振測量實驗，如馬呂斯定律實驗、旋光測量實、旋光等。

應用：

EX1適合于教學領域，適用于單層納米薄膜的薄膜厚度測量，也可用于測量塊狀材料的折射率n和消光系數(shù)k。

EX1可測量的樣品涉及微電子、半導體、集成電路、顯示技術、太陽電池、光學薄膜、生命科學、化學、電化學、磁質存儲、平板顯示、聚合物及金屬表面處理等領域。

技術指標：

項目	技術指標
儀器型號	EX1
測量方式	手動
樣品放置方式	水平放置
光源	He-Ne激光器，波長632.8nm
探測光束直徑	Φ2-3mm
入射角度	30°-90°，步距5°，誤差0.1°
偏振器方位角讀數(shù)范圍	0-360°
偏振器刻度	1°/格
偏振器較小讀數(shù)	0.05°
樣品方位調整	Z軸高度調節(jié)：12mm 二維俯仰調節(jié)：±4°
允許樣品尺寸	樣品直徑可達Φ120mm
配套軟件	* 多個測量項目選擇 * 測量數(shù)據(jù)分析、計算、輸入輸出
較大外形尺寸	（入射角度70°時）長寬高：556286405 mm
儀器重量（凈重）	13kg
選配件	* 激光二極管，波長635nm