青島芯笙微納電子科技有限公司，位于青島市嶗山區(qū)國際創(chuàng)新園，孵化自山東大學。公司以高端氣體質量流量計/控制器（MFC）、薄膜真空計（Vacuum?Gauges）、壓力控制器（EPC）等半導體核心零部件的研發(fā)、生產和銷售為主營業(yè)務，通過自主創(chuàng)新、產學研合作及成果轉化、行業(yè)整合等手段，實現快速發(fā)展，助力國家半導體產業(yè)的發(fā)展。
?????????公司現有發(fā)明專利21項，實用新型專利12項，國家一級計量證書、CE認證、TUV?EMC認證、防爆認證等各類證書30余份，從核心芯片到模組、算法構建了全鏈條技術能力。核心研發(fā)成員來自新加坡微電子研究院、德國卡爾斯魯厄理工學院、山東大學、中科院、復旦大學等科研機構以及國內知名儀器儀表企業(yè)，全力打造國內一流研發(fā)團隊。
????????公司獲評國家高新技術企業(yè)、青島市“專精特新”企業(yè)，承建有青島市先進傳感器重點實驗室、青島市先進氣體流量測控技術工程中心、青島市專家工作站等研發(fā)機構，并承擔多項科技部重點研發(fā)計劃、山東省重大創(chuàng)新工程、青島市重點項目等國家及省部級技術攻關課題。
????????公司現有千級和萬級潔凈廠房3000余平米，在青島、深圳、濰坊等地設有制造基地和研發(fā)中心，全面保障產品的高質量、快速出貨能力，并提供專業(yè)的售前售后服務。
小流量氣體流量計（Mass Flow Controller）是基于業(yè)內的微機電（MEMS）流量傳感器芯片技術，結合高速采樣處理技術和數字補償算法，所開發(fā)的一款智能化、高精度可進行準確的質量流量控制的氣體質量流量控制器產品。
小流量氣體流量計介紹：
溫度和壓力不敏感
超快的響應速度
多種信號輸出方式
公司專注于 MEMS 流量傳感器芯片、流量計、質量流量控制器、數字風速計等氣體流量檢測芯片和模組的研發(fā)和銷售，晶圓制造交由國外晶圓廠代工，封裝交由母公司制造平臺負責，該平臺具有9000平米千級無塵封測車間，具有ISO9001, ISO14001, IATF16949等品質管理和制造認證。相關流量計及控制器產品被廣泛應用于氣體檢漏、氣體分析儀、實驗室、熱氧化爐、擴散爐等領域
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